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1300m/min以上の高速化対応や、アルミ大型ロールへの回転焼成と精度向上を実現したフッ素樹脂コーティングは、特にスピードが要求される印刷業界には最適なコーティングとなっています。コーター、ラミネートの精密化を目指して実現した膜厚公差±5μmは液晶業界などでも高く評価されています。併せて、非粘着性、付着防止、傷つけ防止、耐摩擦性、耐食性、帯電防止など、求められる機能を多彩にご用意しています。
フッ素樹脂の付着防止性能は、パーティクル防止にも役立ちます。
当社はクラス100,000以下のクリーンルームを擁し、クリーン皮膜をご提供します。
これらは半導体製造設備等で多くのご採用例があります。
特に、高純度タイプのフッ素樹脂は耐薬品性が高い為、たいていの洗浄液によって侵されることはありません。
したがって金属イオンによる汚染のリスクが大きく低下します。また金属イオンレスもあります。
そして、フッ素樹脂は熱可塑性樹脂であるためにモノマーのような低分子物の残留も少なく、有機物汚染のリスクが極端に低減します。他方、Siウェハよりもずっと柔らかい為、ウェハに触ってもキズをつけることもありません。
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